Alaşım malzemeleri, ince tabakaların bir alt tabakaya yatırıldığı bir yöntem olan buharlaşma sürecinde kullanılan bir malzemedir. Bu süreçte, malzeme yüksek bir sıcaklığa kadar ısıtılır ve buharlaşır, ardından alt tabakaya yoğuşarak ince ve homojen bir film oluşturur. Alaşım buharlaşma malzemeleri genellikle ince film kaplamalarının üretiminde kullanılır ve bu kaplamalar optik kaplamalar, elektronik ve çeşitli endüstriyel ve dekoratif amaçlar için kullanılır. Yaygın alaşım buharlaşma malzemeleri arasında alüminyum, bakır, pirinç ve altın bulunur. Bu malzemeler, iletkenlik, yansıtma ve korozyon direnci gibi özel özellikleri nedeniyle seçilir. Buharlaşma süreci genellikle bir vakum odasında gerçekleştirilir, bu da malzemenin havayla reaksiyona girmeden buharlaşmasına olanak tanır. Alt tabaka odaya yerleştirilir ve buharlaşma malzemesi buharlaşana kadar ısıtılır. Buhar daha sonra alt tabakaya yoğuşarak ince bir film oluşturur. Filmin kalınlığı, sıcaklık, malzemenin buharlaştırılma hızı ve süresi ayarlanarak kontrol edilebilir.